Hongfeng Carbon Solutions
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対象製品
バイポーラプレート
Graphite Tubes for AAS
Implantable Medical Devices
イオン注入(高純度)
インクジェットノズル(マイクロマシニング)
EDMグラファイト(POCO材料)
PECVDグラファイトボート
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sales@hongfengcarbon.com
イオン注入
Hongfeng Carbon Solutionsは、半導体業界向けに超高純度グラファイト材料の使用および加工において数十年の経験を有しています。当社は、クラス10,000(ISO7規格)のクリーンルームと超音波洗浄装置を運用し、最先端の機械加工能力を補完しています。Hongfengは、半導体用途向けのPOCO材料の追加工に関する認証を取得しています。
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特殊ガラス状カーボンとガラス状グラファイト
ガラス状グラファイト浸漬(VGI)材料は、電極やビームライン開口部などの重要な部品に使用され、イオン注入装置での高性能を支えています。VGI材料は、イオン注入時の高応力条件下でこれらの部品の構造的強度を維持するために不可欠となる、機械的強度の向上と気孔率の低減を実現します。気孔率の低減は、粒子放出を最小限に抑え、よりクリーンな加工環境を確保し、汚染リスクを低減します。
ガラス状カーボン材料は、その卓越した純度、優れた化学的安定性、そして優れた摩耗抵抗性により、幅広い用途で活用されています。これらの特性により、ガラス状カーボンは過酷な化学環境や高温に曝される部品に最適です。例えば、ガラス状カーボンはイオンビームと接触する保護スクリーンやその他の部品に用いられています。ガラス状カーボンの摩耗抵抗性は、イオン注入により向上し、これらの部品の寿命と信頼性を高めます。
ガラス状グラファイトおよびガラス状カーボン材料の使用により、イオン注入装置は精度、安定性、効率を大幅に向上させ、最終的には半導体製造プロセスの性能向上と装置の寿命延長を実現します。
Hongfeng Carbon Solutionsは、お客様にとって信頼のおけるパートナーです
Hongfeng Carbon Solutionsは、イオン注入用グラファイト部品を正確な仕様で製造するための高度な精密加工能力を備えています。半導体業界における豊富な経験を通じ、イオン注入プロセスにおける厳しい要件を満たす高品質のグラファイト材料を提供しています。これらの部品の超音波洗浄および梱包には、純度を保証するため、クラス10,000(ISO7規格)のクリーンルームを運用しています。
Hongfeng Carbonは、火山硬化プロセスを使用して、イオン注入やその他の半導体用途に使用されるグラファイト部品の特性をさらに高める
ガラス状カーボン
材料および
ガラス状グラファイト
処理も提供しています。これらは高度な技術ではありますが、特定の用途において非常に大きな利点を提供します。
イオン注入用グラファイト部品
クリーンルームの運用